電子工業(yè)用氣（氨氣、氯化氫、四氟化碳）告別進(jìn)口

  我國這幾年在電子信息產(chǎn)業(yè)方面的發(fā)展迅速，在過去的一年里，我國電子信息產(chǎn)業(yè)銷售額突破了十個(gè)億，比之前年增幅達(dá)到了百分之十五。與此同時(shí)帶動(dòng)了整個(gè)電子特種氣體的市場需求量。過去由于我國在氣體生產(chǎn)、儲存、提純方面技術(shù)不夠完善，一些電子工業(yè)用氣如：氨氣、四氟化碳、氯化氫都是需要依賴進(jìn)口的。從我國電子產(chǎn)業(yè)長遠(yuǎn)發(fā)展角度出發(fā)，我國必須打破氨氣、四氟化碳、氯化氫被國外壟斷的情況。
  記者在2013年5月舉辦的特種氣體年會報(bào)告中了解得知，廣州市譜源氣體有限公司宣布，經(jīng)過不懈的努力，公司已經(jīng)掌握了高純氨氣、高純四氟化碳、高純氯化氫的提純技術(shù)，為電子工業(yè)用氣的國有化做出了重要貢獻(xiàn)。
  高純氨氣（NH3）是電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體。高純氨氣跟硅烷、高純氬氣（Ar）用于薄膜太陽能電池的制造,也用于LED電子行業(yè)。氨氣具有強(qiáng)腐蝕性和毒性，而且具有刺激性臭味，易溶于水。目前國產(chǎn)高純氨氣已經(jīng)占到國內(nèi)市場需求的一大半，相信以后會完全取代國外氣體公司滿足中國在IC、LED、太陽能電池等領(lǐng)域的需求。
  高純四氟化碳（CF4） ，目前四氟化碳主要應(yīng)用于微電子工業(yè)中的等離子蝕刻，廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢膜材料的銹蝕。同時(shí)也應(yīng)用于電子元件的清洗。四氟化碳又叫做四氟甲烷，是一種鹵代烴。無色、無臭、不可燃，揮發(fā)性較高。是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一。據(jù)廣州譜源公司特氣部主管透露，目前公司可以生產(chǎn)純度達(dá)99.999%的高純四氟化碳，產(chǎn)量基本可以滿足珠江三角洲地區(qū)電子工業(yè)的需求。
  高純氯化氫（HCL），主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路單晶硅片氣相拋光，外延機(jī)座腐蝕等。氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體。易溶于水（遇水是有強(qiáng)腐蝕性）。遇氰化物產(chǎn)生劇毒性氣體氰化氫。目前高純氯化氫已經(jīng)可以滿足國內(nèi)市場的需求。
  隨著國內(nèi)氣體企業(yè)對電子氣體的重視，國內(nèi)氣體公司在技術(shù)方面也漸漸的追上了國外氣體公司。涌現(xiàn)出了一批以廣州譜源氣體有限公司為代表的具有創(chuàng)新性和活力的氣體公司。