含氟電子氣體研究進(jìn)展

  電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。在硅片制造廠，一個硅片需要兩到三個月的工藝流程，完成450道或更多的工藝步驟，才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、墋雜，蝕刻、清洗、封裝等諸多工序，需要的高純電子化學(xué)氣體及電子混合氣高達(dá)30多種，如硅烷、四氟化碳、六氟化硫、磷烷、超純氦氣、超純氮?dú)狻⒏呒兟葰?、高純氯化氫、高純溴化氫等等。且每一種氣體應(yīng)用在特定的工藝步驟中。目前國外有美國APCI、杜邦、在臺代理商三?；ず腿毡救畺|亞、旭硝子、昭和電工，以及CenTral Glass等公司壟斷著全球電子氣體市場。
  在全球電子氣體市場上，氟系列占30％左右。含氟電子氣體主要用作清洗劑和蝕刻劑。