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        工業(yè)用準分子激光之發(fā)展概況

        2008-8-1 16:06:00

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        一、準分子激光簡介
        準分子激光大約可分成三大類,一為惰性氣體準分子激光,工作物質(zhì)為Xe2,Ar2, Kr2 等,一為惰性氣體原子和鹵素氣體原子結(jié)合成的準分子,工作物質(zhì)為XeF、KrF、ArF、XeCl、XeBr 等,此種準分子激光研究較為廣泛,商品化者較多,第三類為金屬原子和鹵素原子結(jié)合而成的準分子,工作物質(zhì)為HgCl、HgBr、CuF 等。
        準分子激光的輸出光波均在紫外光領(lǐng)域,ArF 的輸出波長為192nm,KrF 的輸出波長為249nm,XeCl 的輸出波長為308nm,由于紫外光波的光子能量高,且可聚焦至非常小之光點,可應(yīng)用于微細加工之領(lǐng)域。在工業(yè)應(yīng)用方面,主要用于微電子工業(yè)之修整,例如VLSI 及內(nèi)存等。這種雷射在加工上的應(yīng)用,其原因有二,其中之一是它輸出紫外線,金屬吸收紫外線的能力較可見光或紅外線強,故適用于金屬加工。其二是這一類紫外線雷射的效率很高,加工之經(jīng)濟效益較大。故有不少雷射制造商從事工業(yè)用準分子激光的生產(chǎn)。
        二、于半導(dǎo)制程中之應(yīng)用頗受注目
        準分子激光主要制造商有Lambda Physik、Cymer Laser Tech、Lumonics 等,Lambda Physik的308nm 工業(yè)用準分子激光在市場上相當成功,Lumonics 的產(chǎn)品以半導(dǎo)體生產(chǎn)制程上的材料處理為主,Cymer Laser Tech 則以lithography 為目標市場。
        據(jù)Semiconductor Wafer-stepper 的制造者ASM Lithography(ASML, Tempe,AZ)表示,全球深紫外線(Deep Ultraviolent)DUV 市場將持續(xù)擴大, 1995 年僅5%的lithograhy(光蝕刻法)系統(tǒng)為DUV 系統(tǒng),預(yù)估2005 年DUV 系統(tǒng)將占lithography 系統(tǒng)市場的25%。由于ASML 公司看好短波長光源于半導(dǎo)體制程上之應(yīng)用市場,因此正在發(fā)展準分子激光系統(tǒng)(精度0.25mm),目標市場為256Mbits 的記憶芯片及先進的微處理器。而歐洲最大的雷射制造商─Lambda Physik 指出,該公司目前系準分子激光全球市場領(lǐng)導(dǎo)者,其估計1996~2000 年全球工業(yè)用準分子激光市場約300 臺,主要用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。此外,由于準分子激光于半導(dǎo)體制程上之應(yīng)用頗具潛力,因此Lambda Physik對DRAM 之演進及曝光光源做了比較,結(jié)果請見表1 及表2。
        從表1 及表2 可明顯發(fā)現(xiàn),準分子激光因其波長短可聚至小光點,的確為下一代半導(dǎo)體曝光光源之利器。
        表1 :DRAM 發(fā)展預(yù)測
         年         份  1995   1998   2001  2004  2008
         DRAM(bit)   64M  256M  1G    4G  16G
         最小線徑(mm)  0.35    0.25   0.18  0.12 0.085
            
          表2 : 曝光光源之特性比較
         光源種類 汞燈 準分子激光  KrF ArF
         波長(nm)   365 248 193   157
        分辨率(um) 0.4   0.2 0.15  0.12
                 
                三、準分子激光發(fā)展方向
        因為準分子只能瞬時存在,所以只有用瞬時脈沖高壓來進行放電,以求在短時內(nèi)造成大量的準分子。它的基本結(jié)構(gòu)與二氧化碳雷射相似,但在放電電路方面只提供快升速脈沖高壓,而無直流高壓。在材料方面,必須采用抗蝕性的,以免受鹵族氣體侵蝕而破壞雷射本體。今后的技術(shù)研究有高重復(fù)率,大輸出化,高效率化,長脈沖化,窄譜線化,長壽命化等。高重復(fù)率、大輸出化放電激發(fā)方式由于體積小,容易處理,可高重復(fù)率輸出,因此具有很高的實用價值,因此市面上所賣的產(chǎn)業(yè)用準分子激光全部都是放電激發(fā)方式。
        放電激發(fā)方式的開發(fā)可分為兩類,一種是單脈沖的大輸出化,另一種是高重復(fù)率、高平均輸出功率化。最高重復(fù)率方面,紫外線預(yù)先電離方式為250Hz 左右,電暈放電預(yù)先電離方式為500-600Hz 左右,所使用的開關(guān)組件為閘流管(Thyratron)。
        為對象的千瓦級平均輸出功率,重復(fù)率kHz 級的大輸出功率準分子激光,作為應(yīng)用開發(fā)之用。而且可想象的技術(shù)內(nèi)容將是開關(guān)的固態(tài)化,預(yù)先電離方式則采用電暈放電或X 光線。高效率化準分子激光的效率(光輸出功率/電容器充電能量)通常約2%左右,要達到產(chǎn)業(yè)
        用的實用化則效率的再提高為必須的課題。
        長脈沖化準分子激光的脈沖寬度很短,通常為15~20ns,此為低效率的原因之一。而在CVD
        的應(yīng)用上處理速度決定于工作周期(Duty Cycle),故成為低生產(chǎn)性的原因。脈沖寬度如能加長,則共振腔的效率將會提高,光速質(zhì)量與脈沖工作周期都會提升,當放電由輝光放電轉(zhuǎn)成弧光放電時,雷射共振隨之停止,脈沖寬度即受限于此,如何長時間持續(xù)高密度輝光放電為其關(guān)鍵所在。
        窄光譜化在雷射共振腔內(nèi)放置2 枚干涉器(Etalon),其一為粗調(diào)干涉器產(chǎn)生單一光譜,另一干涉器(精調(diào)干涉器)僅能使更窄的光譜成份發(fā)振。此種雙重干涉器方式的輸出功率僅為寬帶寬時的幾分之一,波長寬度為2~3nm。
        長壽命化準分子激光實用化的最大障礙是氣體、電極、開關(guān)組件、光學(xué)組件等的壽命, 仍無決定性的對策或防止方法,必須針對基本材料、鍍膜、耐光強度等作綜合的研討。
        四、結(jié)論
        準分子激光加工機于國內(nèi)并無生產(chǎn)者,僅有使用者,半導(dǎo)體上游之IC 廠大都有準分子激光用于曝光光源,產(chǎn)品多來自于德國或日本,而在其它單位方面,中科院預(yù)計年底前引進一臺準分子激光加工機做準分子激光加工之研究,此舉對準分子激光于非半導(dǎo)體曝光光源之應(yīng)用應(yīng)有幫助。
         
         
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