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PH3_電子工業(yè)用氣體磷化氫國家標(biāo)準(zhǔn)GBT 14851-2009

2019-7-5 14:11:49

一、范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用磷化氫的技術(shù)要求、試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應(yīng)等方法獲得并精制提到的磷化氫產(chǎn)品。它主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。

分子式：PH3

二、技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體磷化氫的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求

三、磷化氫純度

四、磷化氫標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全

1、磷化氫是劇毒、可燃?xì)怏w，加熱或燃燒時，分解生成磷氧化物有毒煙霧。與空氣、氧氣、氧化劑如氯、氮氧化物、金屬硝酸鹽、鹵素和其他許多物質(zhì)激烈反應(yīng)，有著火和爆炸危險，浸蝕許多金屬。

2、與磷化氫接觸時，禁止明火，禁止火花和禁止吸煙。禁止與高溫表面接觸。若發(fā)生火災(zāi)，切斷氣源，如不可能并對周圍環(huán)境無危險，讓火自行燃燒完全。其他情況用干粉、二氧化碳滅火。

3、磷化氫可能通過吸入吸收到體內(nèi)。容器漏損時，該氣體迅速達(dá)到空氣中有害濃度。

4、磷化氫嚴(yán)重刺激呼吸道。吸入氣體可能引起肺水腫。液體迅速蒸發(fā)，可能引起凍傷。該物質(zhì)可能對中樞神經(jīng)系統(tǒng)、心血系統(tǒng)、心臟、胃腸道、肝和腎有影響，導(dǎo)致功能損害。過多超過職業(yè)接觸限值接觸時，可能導(dǎo)致神志不清或死亡。影響可能推遲顯現(xiàn)。需要進(jìn)行醫(yī)學(xué)觀察。

5、包裝容器上應(yīng)標(biāo)明“電子磷化氫”字樣。

6、磷化氫出廠時應(yīng)附有質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：

產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號

生產(chǎn)日期或批號，充裝質(zhì)量（Kg）

本標(biāo)準(zhǔn)號及技術(shù)指標(biāo)，檢驗員號

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