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O2_電子工業(yè)用氣體氧國家標準GB_T 2014604-2009

2019-6-21 11:18:10

一、范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術要求，試驗方法及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧，以及經純化方法得到的氧。它們主要用于二氧化硅化學氣相淀積，用作氧化源和生產高純水的反應劑，用于等離子體蝕刻和剝離、光導纖維。

分子式：O₂

二、技術要求

電子工業(yè)用氣體氧的質量應符合表1的要求

三、試驗方法

1、氧純度/含量

氧純度的體積分數(shù)不低于99.98X10^-2的按以下公式計算：

W=100-(W1+W2+W3+W4+W5+W6+W7+W8+W9+W10)x10^-4

W——氧純度（體積分數(shù)）/10^-2

W1——氫含量（體積分數(shù)）/10^-6

W2——氬含量（體積分數(shù)）/10^-6

W3——氮含量（體積分數(shù)）/10^-6

W4——一氧化碳含量（體積分數(shù)）/10^-6

W5——二氧化碳含量（體積分數(shù)）/10^-6

W6——總烴含量（體積分數(shù)）/10^-6

W7——一氧化氮含量（體積分數(shù)）/10^-6

W8——一氧化亞氮含量（體積分數(shù)）/10^-6

W9——氪含量（體積分數(shù)）/10^-6

W10——水含量（體積分數(shù)）/10^-6

四、安全要求

1、氧的生產、使用以及貯運應符合GB 16912《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》(2000年）、《壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程》(1999年）等相關規(guī)定。

2、氧是一種強氧化劑。與可燃物質和還原性物質發(fā)生反應，有著火和爆炸危險。

3、液氧迅速蒸發(fā)可能引起凍傷，在極高濃度時刺激呼吸道，可能對中樞神經系統(tǒng)有影響。凍傷時，用大量水沖洗，不要脫去衣服，給予醫(yī)療護理。

4、浸飽液氧的工作服可能有嚴重的火災危險。不要在火焰或高溫表面附近或焊接時使用。

5、與氧接觸時，禁止明火、禁止火花和禁止吸煙。禁止與易燃物質接觸。禁止與還原劑接觸。周圍環(huán)境著火時，允許使用各種滅火劑。

6、液氧泄漏時應保持通風并移除全部引燃源，不要用鋸末或其他可燃吸收劑吸收。切勿直接向液體上噴水。

7、貯存氧的地點應是陰涼場所，具備耐火條件。氧應與可燃物質和還原物質分開存放。

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