電子工廠特種氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

本規(guī)范的編寫(xiě)將適用于集成電路/太陽(yáng)能芯片生產(chǎn)廠、新型顯示器件廠（TFT/PDP 廠,如上海華虹-NEC、德芯電子（昆山）有限公司）高純化學(xué)品配送系統(tǒng)管道的設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收。主要技術(shù)內(nèi)容包括：高純化學(xué)品（含研磨液）配送系統(tǒng)設(shè)計(jì)，室內(nèi)管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)，品質(zhì)在線偵測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，有機(jī)溶劑間的防爆設(shè)計(jì)，氣體、液體泄漏檢測(cè)設(shè)計(jì)，配套的通風(fēng)、廢氣處理、純水、工藝系統(tǒng)廢液收集、電力、生命安全等支持系統(tǒng)設(shè)計(jì)，土建設(shè)計(jì)以及上述設(shè)備、管道的施工及驗(yàn)收。